Questão 1985822

Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica · 2012

Questão

ID 1985822

Disciplina: Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica

Assunto: Circuitos Integrados

Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.

Vácuo é essencial em muitas etapas da fabricação de um circuito integrado. Com relação às tecnologias de vácuo
empregadas nos diversos processos de microfabricação NÃO é correto afirmar que

Alternativa A: a redução de pressão procura garantir transporte de massa sem espalhamento na deposição de filmes finos por
evaporação térmica.
Alternativa B: nos processos a plasma a pureza química desse depende do pré-vácuo efetuado na câmara de processo.
Alternativa C: a composição do gás residual em um sistema de vácuo depende do tipo de bombas utilizadas.
Alternativa D: bombas iônicas são muito eficientes ao bombear gases inertes.
Alternativa E: bombas difusoras a óleo e bombas turbo-moleculares se baseiam no mesmo princípio para reduzir a pressão em uma
câmara.

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