Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)? 1 -W e SiO 2 . 2 - SiO 2 e Si 3 N 4 . 3 - Si 3 N 4 e silício policristalino. 4 - Si 3 N 4 , SiO 2 e silício policristalino.

Questão 1985628

Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica · 2012

ID 1985628

Disciplina: Engenharia Elétrica e Engenharia Eletrônica

Assuntos: Materiais Condutores, Semicondutores e Isolantes

Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?

1 -W e SiO₂.

2 - SiO₂ e Si₃N₄.

3 - Si₃N₄ e silício policristalino.

4 - Si₃N₄, SiO₂ e silício policristalino.