Questão
ID 3500170Disciplina: Física
Assunto: Fenômenos Ópticos
Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.
Controlar os defeitos gerados na lâmina é mais crítico para dispositivos/circuitos com menores características de
tamanho, alta densidade e em lâminas maiores. Dessa forma, a indústria eletrônica tem investido cada vez mais em
minimizar os defeitos na máscara. Isso porque os defeitos em uma máscara/retículo acabam causando defeitos na
lâmina (substrato) ou desvio de padrão. Um dos defeitos comuns que ocorrem na máscara/retículo é a contaminação
com sujeira ou manchas na parte clara da máscara/retículo. Em óptica litográfica, esses defeitos podem ter a seguinte
consequência:
tamanho, alta densidade e em lâminas maiores. Dessa forma, a indústria eletrônica tem investido cada vez mais em
minimizar os defeitos na máscara. Isso porque os defeitos em uma máscara/retículo acabam causando defeitos na
lâmina (substrato) ou desvio de padrão. Um dos defeitos comuns que ocorrem na máscara/retículo é a contaminação
com sujeira ou manchas na parte clara da máscara/retículo. Em óptica litográfica, esses defeitos podem ter a seguinte
consequência: