Questão
ID 3500107Disciplina: Engenharia Química
Assunto: Técnicas de Laboratório e de Caracterização de Materiais
Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.
A limpeza das lâminas de silício é fundamental num processo de microfabricação. Para garantir uma limpeza eficaz,
com a menor quantidade possível de impurezas, segue-se um processo padrão de uma sequência de etapas. No caso da
eliminação, principalmente, de gordura, utiliza-se uma solução denominada piranha, a qual pode ser representada
como:
com a menor quantidade possível de impurezas, segue-se um processo padrão de uma sequência de etapas. No caso da
eliminação, principalmente, de gordura, utiliza-se uma solução denominada piranha, a qual pode ser representada
como: