Questão
ID 1985826Disciplina: Engenharia Química
Assunto: Evaporação
Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.
Em um sistema de deposição de filmes, alumínio é depositado sobre silício por evaporação térmica. Os substratos são
colocados em um suporte hemisférico de 20 cm de raio, em cujo centro se localiza um aquecedor de tungstênio do tipo
“boat”, no qual uma gota de alumínio de 0,1 g foi colocada. A pressão de base do sistema é de 1 x 10-4 Pa.
Qual a espessura do filme depositado, ao se extinguir a carga após 10 minutos?
Al tem massa molar de 26,9815 g/mol, e densidade de 2,70 g.cm-3 @ 300K.