Questão 1985816

Engenharia Mecânica · 2012

Questão

ID 1985816

Disciplina: Engenharia Mecânica

Assunto: Corrosão

Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.

A corrosão por plasma é um dos processos subtrativos utilizados em microfabricação. Aponte, dentre as alternativas abaixo,
a que NÃO é correta.

Alternativa A: A corrosão por plasma permite que espaços sub-micrométricos possam ser atacados, os quais não seriam atingidos por
via úmida devido à tensão superficial das soluções de ataque.
Alternativa B: A corrosão por plasma permite um melhor controle do processo que a corrosão úmida, pois pode ser iniciada e encerrada
com mais facilidade.
Alternativa C: A pulverização catódica (sputtering) é um mecanismo físico de erosão sempre presente na corrosão por plasma,
independente da pressão e dos tipos de gases presentes no plasma.
Alternativa D: A corrosão por plasma de íons reativos (RIE) é altamente seletiva e anisotrópica.
Alternativa E: Defeitos são criados na superfície do substrato para energias dos íons do plasma tão baixas quanto 4 eV.