Questão 1985781

Química · 2012

Questão

ID 1985781

Disciplina: Química

Assunto: Reagentes e Mecanismos das Reações

Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.

Quais as funções das curas no processamento do fotorresiste positivo, sotbake, PEB e hardbake respectivamente:

Alternativa A: Amolecimento do fotorresiste, uniformização da área exposta, endurecimento do fotorresiste.
Alternativa B: Amolecimento do fotorresiste, exposição do fotorresiste, endurecimento do fotorresiste.
Alternativa C: Uniformização da camada, endurecimento do fotorresiste, interrupção da revelação.
Alternativa D: Refluxo do fotorresiste, evaporação do solvente e inibição do foto-ácido.
Alternativa E: Evaporação do solvente e ativação do foto-ácido, refluxo do fotorresiste e inibição do foto-ácido com estabilização do
fotorresiste.