Questão
ID 1985769Disciplina: Física
Assunto: Difração
Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.
Quais as principais causas do limite de resolução em fotolitografia?