Questão
ID 1985721Disciplina: Engenharia Química
Assunto: Conceitos Gerais de Operações Unitárias
Ano: 2012 Banca: FUNRIO - Fundação de Apoio a Pesquisa, Ensino e Assistência Órgão: Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A.
A seguir, são apresentadas algumas vantagens de diferentes processos de deposição química a partir de vapor.
I – Reator simples.
II – Altas taxas de deposição.
III – Excelente pureza e uniformidade.
IV – Baixa temperatura.
Assinale a alternativa que apresenta a(s) vantagem(ns) da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.
I – Reator simples.
II – Altas taxas de deposição.
III – Excelente pureza e uniformidade.
IV – Baixa temperatura.
Assinale a alternativa que apresenta a(s) vantagem(ns) da deposição química a partir de vapor em baixa pressão.